导读 Axcelis Technologies, Inc (纳斯达克股票代码： ACLS)是半导体行业创新、高生产率解决方案的领先供应商，今天宣布多批 Purion Dragon
Axcelis Technologies, Inc.(纳斯达克股票代码： ACLS)是半导体行业创新、高生产率解决方案的领先供应商，今天宣布多批 Purion Dragon™ high目前的注入机，包括后续订单和先进存储设备制造的新客户渗透。Purion Dragon 具有革命性的大电流注入机架构，采用创新的正交光束光学器件，旨在解决高级存储器和逻辑应用的关键注入步骤。这些系统于 2022 年第一季度和第二季度发货。
产品开发执行副总裁Bill Bintz评论说：“Purion Dragon 的开发旨在解决芯片制造商最具挑战性的离子注入应用，通过提供最高水平的工艺控制和显着提高大电流应用的生产力。
我们很高兴支持我们现有客户的晶圆厂产能扩张，也对我们的新客户渗透感到兴奋。
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